布线形成方法技术

技术编号:22226061 阅读:53 留言:0更新日期:2019-09-30 06:41
一种布线形成方法,其包括下述A工序及B工序,所述布线形成方法能够通过无电解镀来提供不存在断线且直线行进性优异的细线图案、例如50μm以下的细线图案。A工序:通过在具有亲液部和拒液部的基材上涂布催化剂油墨而使其具备基底层的工序,B工序:将具备了基底层的基材在无电解镀浴中浸渍从而形成金属镀膜的工序。

Routing Formation Method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华bck体育不让提款技术】布线形成方法
本bck体育不让提款技术涉及使用了用于形成无电解金属镀的基底层的催化剂油墨的布线形成方法,详细而言,涉及基于在具有亲液部和拒液部的膜上涂布催化剂油墨并使其与镀覆液接触从而使镀层析出的工序的布线形成方法。
技术介绍
以往,在电路、传感器、元件等的制造中,逐渐利用了使用抗蚀剂的图案形成技术、基于溅射、真空蒸镀法的镀覆技术等方法。但是,这些方法的难点在于,需要通过蚀刻来进行不需要的部分的除去工序;运用真空、高温从而消耗大量的能量。因此,近年来,从工序的简便性、经济性等观点出发,应用了印刷技术的印刷电子设备受到关注。作为这样的印刷技术的代表技术,有喷墨(inkjet)法。其是仅在必要位置涂布必要量的材料的印刷技术,也不需要真空工艺,因此,期待在应用于电子设备的制造领域的情况下能实现大幅度的资源节约、节能。作为使用这样的喷墨法的电子设备材料,迄今已提出了导体图案形成用油墨(bck体育不让提款文献1)。另外,在电路、传感器、元件等的制造中,能实现高功能化、小型轻量化的制造技术的开发从达成信息通信设备的可移动化、高功能化方面来看具有全世界性的需求,例如在布线技术中,要求在金属图案形成中进一步细线化。另一方面,无电解镀仅仅通过在温和的条件下将基材浸渍于镀覆液中,即可得到厚度均匀的金属被膜,而与基材的种类、形状无关。通常的镀覆工艺包括下述工序:脱脂、蚀刻等基材的前处理工序;使催化剂吸附的催化工序;使催化剂活化的加速工序;及向无电解镀液中浸渍的工序。还提出了有效利用这样的无电解镀技术来形成金属图案的方法,例如,公开了通过喷墨方式将包含钯金属盐和络合剂的催化剂油墨形成图案,通过无电解镀处理来形成金属的方法(参见bck体育不让提款文献2)。但是,该方法中,用于将Pd离子还原活化的工序(上述加速工序)是必需的,操作繁琐。另一方面,已知有下述方案:向亲液性和拒液性因光而发生变化的涂膜以图案状照射光后,在亲液部分涂布金属油墨,由此形成电极、布线等(例如bck体育不让提款文献3)。但是,在利用金属油墨形成电极、布线时,为了降低电阻值,需要进行烧结的工序,该工序通常于超过150℃的高温进行,因此无法在薄膜基板等上形成布线等。另外,虽然也有将无电解镀用的催化剂油墨涂布在具有亲液部和拒液部的图案上的例子,但其是向基板整面上的涂布,并未进行在喷墨方式中稳定喷出的油墨方面的研究(bck体育不让提款文献4)。现有技术文献bck体育不让提款文献bck体育不让提款文献1:日本特开2012-122039号公报bck体育不让提款文献2:国际公开第2010/067696号小册子bck体育不让提款文献3:日本bck体育不让提款第4743254号bck体育不让提款文献4:日本特开2016-157111号公报
技术实现思路
bck体育不让提款技术要解决的问题如上述那样,近年来,不断要求金属图案的进一步细线化,但在利用喷墨法进行100μm以下的图案形成的情况下,存在下述这样的问题:由于液滴变小而发生断线,为了使油墨稳定喷出,印刷速度变慢。但是,为了提高材料的使用效率,也还是期望能适用喷墨方式。因此,本bck体育不让提款技术着眼于这样的问题,目的在于提供一种新型布线形成方法,其基于在具有亲液部和拒液部的涂膜上喷墨涂布催化剂油墨的工序,能通过无电解镀而得到不存在断线且直线行进性优异的细线图案、例如50μm以下这样的细线图案。需要说明的是,本说明书中,所谓“直线行进性”,是指就细线的长度方向而言、能够始终保持恒定的线宽度的性质。用于解决问题的手段为实现上述目的,本申请bck体育不让提款技术人进行了深入研究,结果发现,通过采用将作为用于无电解镀的催化剂油墨的、由在分子末端具有铵基且重均分子量为1,000~5,000,000的超支化聚合物和金属微粒形成的催化剂油墨涂布在具有亲液部和拒液部的膜上的方法,能达成线宽度为50μm以下的图案的形成,而且,在这样的细线图案中不发生断线,并且线宽度恒定,形成为直线行进性优异的图案,从而完成了本bck体育不让提款技术。即,本bck体育不让提款技术中,作为第1观点,涉及布线形成方法,其包括下述A工序及B工序,A工序:通过在具有亲液部和拒液部的基材上涂布催化剂油墨而使其具备基底层的工序,B工序:将具备了基底层的基材在无电解镀浴中浸渍从而形成金属镀膜的工序;作为第2观点,涉及第1观点所述的布线形成方法,其中,催化剂油墨为包含下述(a)~(c)的布线形成方法油墨,(a)分散剂,(b)金属微粒,(c)溶剂。作为第3观点,涉及第1观点所述的布线形成方法,其中,催化剂油墨为包含下述(a)~(c)的布线形成方法油墨,(a)在分子末端具有铵基且重均分子量为1,000~5,000,000的超支化聚合物,(b)金属微粒,(c)溶剂;作为第4观点,涉及第1观点、第2观点或第3观点所述的布线形成方法,其中,具有亲液部和拒液部的基材为在基材上形成具有亲液部和拒液部的膜而成的基材。作为第5观点,涉及第4观点所述的布线形成方法,其特征在于,具有亲液部和拒液部的膜为具有含有拒液性基团的拒液部、和通过曝光使拒液性基团脱离或分解从而成为了亲液性的亲液部的膜。作为第6观点,涉及第4观点所述的布线形成方法,其特征在于,具有亲液部和拒液部的膜为具有含有拒液性基团的拒液部、和通过由曝光产生的酸的作用使拒液性基团脱离从而成为了亲液性的亲液部的膜。作为第7观点,涉及第4观点至第6观点中任一项所述的布线形成方法,其中,具有亲液部和拒液部的膜是利用光亲拒液部形成组合物而形成的,所述光亲拒液部形成组合物含有:作为(A)成分的、包含来自具有下述式(1)的结构的单体的结构单元的聚合物,作为(B)成分的光产酸剂,及溶剂。[化学式1](式中,R11表示氢或甲基,R12表示能随同其所键合的氧原子一起脱离的有机基团。)作为第8观点,涉及第7观点所述的布线形成方法,其中,具有亲液部和拒液部的膜是利用还含有作为(C)成分的微粒的光亲拒液部形成组合物而形成的。作为第9观点,涉及第4观点至第8观点中任一项所述的布线形成方法,其中,具有亲液部和拒液部的膜是相对于催化剂油墨的接触角在拒液部为30°以上、在亲液部为5°以下的图案形成膜;作为第10观点,涉及基材,其是使用第1观点至第9观点中任一项所述的布线形成方法形成布线而成的,作为第11观点,涉及装置,其具备第10观点所述的基材。bck体育不让提款技术的效果本bck体育不让提款技术的布线形成方法能够使用催化剂油墨在基材上形成直线性优异的无电解金属镀的基底层。而且,本bck体育不让提款技术的布线形成方法能够描绘50μm以下的细线图案,在得到的细线图案中不发生断线,能够形成线宽度恒定而直线行进性优异的细线图案。另外,由本bck体育不让提款技术的催化剂油墨形成的无电解金属镀的基底层仅仅通过在无电解镀浴中浸渍,即可容易地在基材上形成金属镀膜,而且能容易地得到经金属镀而成的金属被膜基材。即,通过使用本bck体育不让提款技术的催化剂油墨在基材上形成基底层的图案并进行无电解镀,能够形成线宽度为50μm以下、抑制了断线的发生并且直线行进性优异的金属镀图案,该图案形成技术在要求细线化的布线技术中非常有用。具体实施方式本bck体育不让提款技术的布线形成方法是包括下述A工序及B工序的布线形成方法。A工序:通过在具有亲液部和拒液部的基材上涂布催化剂油墨而使其具备基底层的工序,B工序:将具备了基底层的基材在无电解镀浴中浸渍从而形成金属镀膜的工序。以下,对本bck体育不让提款技术进行详细说明。[具有亲液部和拒液部的基材]为了准备本bck体育不让提款技术中使用的具有亲液部和拒液部的基材,可举出直接对基材的表面进行处理的方法、和在基材的表面形成具有亲液部和拒本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.布线形成方法,其包括下述A工序及B工序,A工序:通过在具有亲液部和拒液部的基材上涂布催化剂油墨而使其具备基底层的工序,B工序:将具备了基底层的基材在无电解镀浴中浸渍从而形成金属镀膜的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华bck体育不让提款技术】2017.02.14 JP 2017-0253721.布线形成方法,其包括下述A工序及B工序,A工序:通过在具有亲液部和拒液部的基材上涂布催化剂油墨而使其具备基底层的工序,B工序:将具备了基底层的基材在无电解镀浴中浸渍从而形成金属镀膜的工序。2.如权利要求1所述的布线形成方法,其中,催化剂油墨为包含下述(a)~(c)的布线形成方法油墨,(a)分散剂,(b)金属微粒,(c)溶剂。3.如权利要求1所述的布线形成方法,其中,催化剂油墨为包含下述(a)~(c)的布线形成方法油墨,(a)在分子末端具有铵基且重均分子量为1,000~5,000,000的超支化聚合物,(b)金属微粒,(c)溶剂。4.如权利要求1至3中任一项所述的布线形成方法,其中,具有亲液部和拒液部的基材为在基材上形成具有亲液部和拒液部的膜而成的基材。5.如权利要求4所述的布线形成方法,其特征在于,具有亲液部和拒液部的膜为具有含有拒液性基团的拒液部、和通过曝光使拒液性基团脱离或分解从而成为了亲液性的亲液部的...

【bck体育不让提款技术属性】
技术研发人员:星野有辉森元雄大汤川昇志郎小岛圭介大村浩之
申请(bck体育不让提款权)人:日产化学株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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